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電子顯微鏡的工作原理
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北京長恒榮創科技

時間 : 2023-06-28 15:22 瀏覽量 : 205

       電子顯微鏡(Electron Microscope)是一種利用電子束而不是可見光來觀察樣品的顯微鏡。相比光學顯微鏡,電子顯微鏡具有更高的分辨率和放大倍數,可以提供對樣品更細微的細節和結構的觀察。下面是電子顯微鏡的基本工作原理:


       電子源:電子顯微鏡使用電子源產生電子束。最常用的電子源是熱陰極發射電子槍,其中熱絲通過加熱產生電子。


       真空系統:電子顯微鏡內部需要維持高真空環境,以確保電子束的穩定傳輸和避免電子與氣體分子相互碰撞。


       電子透鏡系統:電子透鏡系統由一系列電磁透鏡組成,包括凸透鏡和凹透鏡。這些透鏡通過控制電磁場來聚焦電子束,使其通過樣品。


       樣品:待觀察的樣品被放置在電子顯微鏡的樣品臺上。樣品通常需要進行前處理,如切片、薄層制備或金屬蒸鍍等,以適應電子束的觀察要求。


       檢測器和圖像形成:電子束與樣品相互作用后,產生散射電子、透射電子和反射電子等。這些電子通過檢測器進行捕捉和記錄,形成樣品的圖像。最常用的檢測器是熒光屏或像面探測器。


       放大和圖像處理:電子顯微鏡通過調整電子透鏡的電場和樣品到檢測器的距離來控制放大倍數。電子顯微鏡還可以使用電子衍射、能譜分析等技術來獲取更多關于樣品的信息。


       電子顯微鏡的關鍵在于使用電子束代替光束,因為電子具有更短的波長,因此具有更高的分辨率。通過合理設計電子透鏡系統、優化樣品制備和圖像處理,電子顯微鏡可以提供非常精細和詳細的樣品圖像,廣泛應用于材料科學、生物學、納米科學等領域的研究和分析。


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