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電子顯微鏡的電子透鏡系統
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北京長恒榮創科技

時間 : 2023-07-16 16:11 瀏覽量 : 207

       電子透鏡系統是電子顯微鏡中的一個重要組成部分,用于控制和聚焦電子束,以實現高分辨率和清晰的成像。電子透鏡系統包括一系列電磁透鏡和調節器件,可以通過電磁場的作用來操縱電子束的軌跡和聚焦度。下面將詳細介紹電子顯微鏡的電子透鏡系統。

       

       磁場透鏡:

       電子顯微鏡中最常見的透鏡是磁場透鏡,它利用磁場的作用來聚焦電子束。磁場透鏡通常由一組電磁線圈構成,通過控制電流的大小和方向來調節磁場的強度和方向。

       對焦透鏡(Condenser Lens):對焦透鏡位于電子槍和樣品之間,用于聚焦電子束。它的作用是使電子束匯聚成較小的直徑,從而增加電子束的亮度和聚焦度。

       

       物鏡透鏡(Objective Lens):物鏡透鏡位于樣品和投影平面之間,用于進一步聚焦電子束并形成樣品的放大圖像。物鏡透鏡的設計和性能直接影響電子顯微鏡的分辨率和放大倍數。

       

       次級透鏡(Intermediate Lens):次級透鏡位于物鏡透鏡和投影平面之間,用于調節電子束的軌跡和聚焦度。它在顯微鏡系統中起到銜接物鏡透鏡和投影透鏡之間的作用。

       

       電壓調節器件:

       除了磁場透鏡外,電子顯微鏡的電子透鏡系統還包括一些電壓調節器件,用于調整透鏡的焦距和聚焦度。

       透鏡電壓調節器(Lens Voltage Control):透鏡電壓調節器通過改變透鏡電勢差來調節透鏡的焦距。調節透鏡電勢差可以改變電子束通過透鏡的軌跡,從而影響電子束的聚焦程度。

       

       照明孔徑調節器(Aperture Control):照明孔徑調節器用于調節入射電子束的孔徑大小。調節照明孔徑可以控制電子束的大小和角度,進一步影響電子束的聚焦度和深度。

       

       調節器件:

       電子顯微鏡的電子透鏡系統還包括一些調節器件,用于控制和調整透鏡的位置、傾角和焦點。

       透鏡位置調節器(Lens Position Adjuster):透鏡位置調節器用于調整透鏡的位置,以使透鏡與電子束的路徑對準。調整透鏡的位置可以確保電子束正確通過透鏡,使得聚焦效果最佳。

       

       透鏡傾斜調節器(Lens Tilt Adjuster):透鏡傾斜調節器用于調整透鏡的傾斜角度。調整透鏡的傾斜角度可以改變電子束的軌跡,從而調節聚焦和成像的效果。

       

       透鏡焦點調節器(Lens Focus Adjuster):透鏡焦點調節器用于調節透鏡的焦點位置。通過調整透鏡的焦點位置,可以控制電子束在樣品上的聚焦程度,從而實現清晰的圖像成像。

       

       通過適當的電磁透鏡的組合和調節器件的調整,電子透鏡系統能夠實現高分辨率、清晰度和對樣品的高度控制。這使得電子顯微鏡能夠觀察到微小細節和高放大倍數的樣品結構。

       

       總結起來,電子透鏡系統是電子顯微鏡中的關鍵部分,用于控制和聚焦電子束,以實現高分辨率和清晰的成像。它包括磁場透鏡、電壓調節器件和調節器件等組件,通過調節電子束的軌跡和聚焦度來實現優質的圖像成像。電子透鏡系統的設計和調整對電子顯微鏡的分辨率、聚焦度和放大倍數具有重要影響。


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