觀察和研究超微結構，如納米級和亞微米級的細小物質和結構，通常需要高分辨率的顯微鏡，因為這些結構遠小于光學顯微鏡的分辨能力。以下是用于觀察超微結構的幾種常見顯微鏡類型：

透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope，TEM）：TEM是一種高分辨率的顯微鏡，它使用電子束代替光束，能夠觀察納米級和亞微米級的結構。樣本需要經過特殊的樣品制備，通常要切成極薄的截面以便電子透射。TEM廣泛用于材料科學、納米技術、生物學和細胞學等領域。

掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）：SEM使用電子束掃描樣本表面，從而獲得表面形貌的高分辨率圖像。它能夠觀察表面紋理、顆粒和微細結構。雖然SEM的分辨率通常不如TEM高，但它非常適用于材料科學、地質學和生物學中的超微結構研究。

原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope，AFM）：AFM是一種掃描探針顯微鏡，用于觀察和測量樣本表面的原子級和分子級結構。AFM通過在探針和樣本之間的相互作用力來生成圖像。它廣泛應用于材料科學、生物學、納米技術和表面科學等領域。

近場掃描光學顯微鏡（Near-field Scanning Optical Microscope，NSOM）：NSOM使用非常接近樣本的光學探針，以獲取高分辨率的光學圖像。它可以在亞微米和納米尺度下觀察樣本的光學性質，例如表面等離子共振、熒光和透射。NSOM廣泛用于納米光學和生物光學研究。

熒光顯微鏡： 熒光顯微鏡使用特殊的熒光標記物來觀察細胞和超微結構。雖然其光學分辨率有限，但通過合適的標記和熒光顯微鏡技術，可以實現亞微米級的分辨能力。熒光顯微鏡在生物學和生物醫學研究中得到廣泛應用。

光學近場顯微鏡（Optical Near-field Microscope，ONM）：ONM使用非常接近樣本的光學探針，允許獲取高分辨率的光學圖像。它在觀察亞微米級結構和表面等離子共振等光學現象方面非常有用。

電子能譜顯微鏡（Electron Energy Loss Spectroscopy Microscope，EELS）：EELS結合了TEM和光譜學的原理，能夠獲取樣本的電子能譜信息，提供關于樣本成分和原子排列的信息。它在材料科學和納米材料研究中具有廣泛應用。

X射線顯微鏡： X射線顯微鏡使用X射線來觀察樣本的結構，可以提供非常高的分辨率。它在材料科學、生物學和晶體學研究中有用。

總結，選擇用于觀察超微結構的顯微鏡取決于樣本類型、分辨率要求和所需的信息。不同類型的顯微鏡具有各自的優勢和適用領域，研究人員需要根據其具體需求來選擇合適的顯微鏡。