產品介紹

SEM原位冷熱臺是一款在掃描電子顯微鏡內，提供樣品原位變溫測試的產品（無需改造電鏡內部結構）。通過定制外接法蘭裝置，操作溫控軟件實現對冷熱臺上樣品的溫控。

SEM原位冷熱臺適用于各種樣品的變溫微觀結構研究。支持與現有各種掃描電子顯微鏡（蔡司、國儀量子、惠然等）適配。

電熱、液氮可實現快速升降溫

可增加試樣溫度監測溫度傳感器

溫控精度高±0.1℃，可編程階梯控溫

可以在較大的電子束流下獲得高質量圖像

可適配SEM定制樣品架，安裝/拆卸過程簡單

制冷完成測試后可快速（60℃/min）升溫達到RT，正常更換樣品，測試效率高。

簡要參數

產品圖片

常溫下的鎵樣品

-185℃下的鎵樣品